机译:脉冲等离子体增强化学气相沉积系统的等离子体和气相表征,该系统设计用于氧化铝薄膜的自限生长
机译:脉冲液体注入等离子体增强金属有机化学气相沉积法沉积氧化钇和硅酸钇薄膜的微观结构和电学性质
机译:等离子体处理氧化黄铜表面形成的薄氧化膜的制备与表征
机译:等离子体辅助N2O氧化沉积薄膜晶体管的氮氧化硅超薄膜的表征
机译:基于八氟环丁烷的等离子放电的特征,用于二氧化硅和低K介电薄膜的选择性刻蚀和处理。
机译:快速热等离子体CVD直接合成并表征光学透明的保形氧化锌纳米晶薄膜
机译:PVD氧化物的薄膜和等离子体表征